简介

X射线光电子能谱（XPS）是非常重要的表面分析技术，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息，广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。