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仪器编号
中文名称 X射线光电子能谱仪(XPS)&俄歇电子能谱仪(AES)
英文名称
型号及规格 PHI 1800
所在城市 广东深圳
主要技术指标

仪器参数

HHe之外的所有元素

分析深度约5纳米(AES3纳米)检测下限约0.1%

空间分辨率约30微米(AES10nm


测试项目

X射线光电子能谱利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。XPSAES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析,测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。


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