仪器参数

除H和He之外的所有元素

分析深度约5纳米（AES约3纳米）检测下限约0.1%

空间分辨率约30微米（AES约10nm）

测试项目

X射线光电子能谱利用光电效应的原理，测量X射线激发出的光电子能量和计数，对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析；俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子，对表面进行微区的成分和化学态分析。XPS和AES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析，测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。