仪器参数

Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

1kv分辨率可达1.3nm                        

加速电压0.1～30kV

最大装载尺寸  100mm

观测倍率20～8000,000X（底片输出）

60～2,000,000X（显示器输出）

测试项目

形貌观察：

表面失效分析

金属断口分析

锡须观察

微薄镀层厚度测量

表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测

成分分析：

可对表面污染、异色、腐蚀、损伤等一切固体样品表面进行检测分析。