微纳米力学综合测试系统可以对样品表面微区进行压痕（施加正向垂直载荷力）、划痕（施加侧向载荷力）、原位成像压痕或划痕后的表面形貌。主要应用于微硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、结合强度、临界载荷、断裂刚度、蠕变、粘变力（结合力）、存储模量、损失模量等测试。

a 纳米划痕仪

1）主要技术指标

加载力：10uN～1N

加载力分辨率：150nN

摩擦力范围：6μN～1N

加载方式：恒定载荷、台阶载荷、往复式运动、定位划痕

  2）测试范围与服务项目

实时记录法向力、摩擦力、穿透深度、声发射信号，从而准确可靠地获得膜与基底的结合力，或研究薄膜与其它样品表面的摩擦、磨损行为。

b 纳米压痕仪

  1）主要技术指标

  加载力：0～300mN

  加载力分辨率：40nN

  最大压入深度：20μm

  2）测试范围与服务项目

准确可靠地获得材料的压入硬度、弹性模量、接触刚度、应力－应变、蠕变等数据及接触刚度、硬度和弹性模量的连续纵深分布

c 原子力显微镜

1）主要技术指标

  扫描范围：20×20×2μm

分辨率：X、Y、Z<1nm

2）测试范围与服务项目

生物组织、涂层、薄膜、半导体材料的刻蚀结构及纳米、微米结构的三维形貌分析、表征