可测元素范围：钛Ti~铀U

可测多层膜厚：最多6层

成分分析：可同时分析30种元素

简介

激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（初级X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出次级X射线，并且不同的元素所放射出的次级X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的次级X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

测试范围与服务项目

测量常见镀层、涂层厚度，并同时进行成分分析