主要规格&技术指标
1. 二次电子像分辨率：≤0.6nm ( 15 kV)，≤1.0 nm ( 1 kV )
2. 加速电压：≥0.01kV ～ 30kV 区间且连续可调
3. 束流范围：场发射电子枪，≥数 pA～300nA 区间，分析效率极高
4. 放大倍率：≥25～2,000,000 区间(底片倍率)，≥69～5,480,000 区间(显示器倍率)；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能；
5. 样品台移动范围: 行程：X≥70mm, Y≥50mm, Z≥1～ 41mm 区间，倾斜 T≥-5°～ +70°区间,旋转 R≥360°
主要功能及特色
扫描电子显微镜利用电子束扫描样品表面，通过样品与电子束相互作用产生的信号来获取样品表面形貌和成分信息的高分辨率显微镜。主要用于高分辨率成像（纳米级别的高分辨率图像）、表面形貌分析（观察到样品的表面细节，包括粗糙度、裂纹、孔隙等）、成分分析（结合能谱仪，进行元素的定性和定量分析）、纳米尺度测量（纳米尺度的尺寸，如纳米线、纳米颗粒等）、断裂面分析、检测产品表面的缺陷和不均匀性等。
