| 中文名称 | 3D形貌检测仪 |
| 型号及规格 | 暂无 |
| 所在城市 | 哈尔滨工业大学(深圳) |
| 预约申请 | |
| 性能指标 | 1、最大可测量工件尺寸不小于85x200x200mm； 2、表面形貌重复性＜0.08nm； 3、RMS重复性≤0.008nm； |
| 主要应用 | 大面积波纹度测量、表面粗糙度测量 |
| 样品要求 | 样品尺寸≤85x200x200mm |
| 仪器说明 | 用于缺陷定量分析，设置缺陷特征深度或高度临界值，软件自动分析得到其最大深度或高度、面积、体积、长宽等以及曲率半径分析； |
| 附件下载 | 暂无附件 |
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